Newsbeitrag

ICMCTF 2016 Graduate Student Award an DI Dr.mont. Marlene Mühlbacher

Bei der „International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2016“ in San Diego, Kalifornien wurde Frau DI Dr.mont. Marlene Mühlbacher (ehemalige Dissertantin am Lehrstuhl für Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme) mit dem Graduate Student Award in Gold für ihre Arbeit "Diffusion studies in the TiN/Cu bilayer system and beyond" ausgezeichnet.

Frau Mühlbacher beschäftigte sich in Ihrer Doktorarbeit im Rahmen eines strategischen COMET K2 Projektes mit der Untersuchung von Diffusionsmechanismen in Barriereschichten für die Mikroelektronik. Die Arbeit ist in Kooperation mit der University of Linköping, Schweden, entstanden und im November 2016 abgeschlossen worden.

Die Aufgabe derartiger Barriereschichten ist es, die schädliche Diffusion von Kupfer aus Leiterbahnen in die Halbleiterstrukturen zu verhindern. Frau Mühlbacher wendete zur Verbesserung des Verständnisses der Diffusionsphänomene hochauflösende Methoden wie dreidimensionale Atomsondentomographie und Transmissionselektronenmikroskopie an. Ihre im Lauf der Doktorarbeit gewonnenen Erkenntnisse stellen die Basis für die Entwicklung effizienterer Barriereschichten dar und werden wesentlich zur weiteren Miniaturisierung von Halbleiter-Bauelementen beitragen.