Newsbeitrag

Josef Krainer Förderungspreis 2018 für DI Dr. Ruth Konetschnik

© steiermark.at/Fischer

Die Doktorarbeit von DI Dr. Ruth Konetschnik mit dem Titel „Residual Stresses and Crack Growth in Microelectronic Thin Films“ wurde am 19. März mit dem Josef Krainer Förderungspreis 2018 ausgezeichnet. Diese Dissertation wurde von Dr. Konetschnik am Departement Materialphysik der Montanuniversität Leoben verfasst. Sie ist Teil des Projektes „Deformation and Crack Growth at Ductile Interfaces in Microelectronic Devices“ im Rahmen des COMET K2 Kompetenzzentrums für „Integrated Research in Materials, Processing and Product Engineering (MPPE)” an der Materials Center Leoben Forschung GmbH. Untersucht wurde in dieser Arbeit das Risswachstum, welches durch innere und äußere Belastungen hervorgerufen wird, in mehrlagigen Kupfer- und Wolframschichten – wie sie in der Mikroelektronik eingesetzt werden. Diese inneren Spannungen, die so genannten Eigenspannungen, wurden mit einer neuartigen Methode lokal und hochaufgelöst dargestellt. Des weiteren konnten im Rahmen dieser Arbeit erstmals Bruchzähigkeiten für Einzelschichten innerhalb eines Materialverbundes mittels mikromechanischer Tests und komplexer Berechnungen bestimmt werden.

Wir gratulieren herzlich zu dieser Auszeichnung!