3D Werkstoff- und
Schädigungsuntersuchung
Focussed Ion Beam
Micromachining
Herstellung einer mikro-
mechanischen Biege-
probe einer Beschichtung
(Breite 2µm)
TEM-Folien
Präparation
mittels FIB
2- und 3-dimensionale
Abbildung einer Fehlstelle
in einer Beschichtung
Unsere Schwerpunkte /
Kompetenzen
• Zielpräparation von TEM–Dünnfolien für nachfolgende
elektronenmikroskopische Untersuchungen*
• Zielpräparation von Atomsondenspitzen für nach
folgende Atomsondenuntersuchungen*
• Herstellung von Proben für mikromechanische Prü-
fung von Werkstoffen (z.B. von dünnen Schichten)*
*weiterführende Analysen (TEM, APFIM bzw. mikro
mechanische Versuche) werden in Kooperation mit
Forschungspartnern des MCL durchgeführt
Unsere Schwerpunkte /
Kompetenzen
• 3D Gefügetomographie auf Basis unterschiedlicher
Elektronen- und Ionenkontraste, EBSD-Orientie-
rungskontrast und lokale chemische Zusammen
setzung
• 3D Tomographie von beschichteten Oberflächen
(dünne Schichten) oder Mikrokomponenten
• 3D Schädigungstomographie (Schädigungsmapping
zur Untersuchung von Schädigung zufolge der Ferti-
gung oder des Einsatzes)
1 µm
2 µm
2 µm
FIB-Schnitt in eine
beschichtete Oberfläche
Mikro- und Nanobearbeitung mittels Focussed Ion Beam
Technologie zur Probenherstellung für mikromechani-
sche und mikrostrukturelle Untersuchungen.
Werkstoffcharakterisierung mittels aufeinanderfolgen-
der FIB Schnitte (FIB slicing Technik) und anschließender
3D Rekonstruktion zur Beschreibung des dreidimensio-
nalen Aufbaus von Werkstoffen oder Mikrokomponenten.
