DIE GRUNDLAGEN
UNSERE KOMPETENZ
Unser Leistungsangebot im
Elektronenmikroskopielabor
•
Werkstoffcharakterisierung
mittels Rasterelekt-
ronenmikroskopie (REM) (z.B. Gefügebeurteilung,
Phasenzusammensetzung)
• 3D-Charakterisierung von
Bauteiloberflächen und
Bruchflächen
inkl. lokaler Ermittlung der chemischen
Zusammensetzung und Schädigung
•
3D – Gefügetomographie
basierend auf Kornorientie-
rung oder chemischer Zusammensetzung
•
Zielpräparation von Dünnfolien
für die Transimissi-
onselektronenmikroskopie (TEM) und Untersuchung
der TEM-Proben im Durchstrahlungsmodus (STEM)
inkl. chemische Analytik (einfache TEM-Analysen ohne
Beugung)
•
Zielpräparation von Atomsondenspitzen
aus belie-
bigen Bereichen von Proben (Bulkmaterialien und
dünne Schichten) für weitere Analyse bei unseren
Forschungspartnern
•
Herstellung von Mikroproben
für mechanische in-
situ-Versuche mit verschiedenen Geometrien (z.B.
Quader, Zylinder oder Mikrozugproben und Biegebal-
ken) (in-situ-Versuche in Kooperation mit Forschungs-
partnern)
• Einbringung kleiner
rissähnlicher Defekte
(im sub-
μm bis μm-Bereich) zum Studium des Verhaltens
kurzer Risse
Unsere Anlagenausstattung im
Elektronenmikroskopielabor
•
Dual-Beam Rasterelektronenmikroskop mit fokus-
siertem Ionenstrahl
(Focused Ion Beam) der Firma
Zeiss (AURIGA
®
-CrossBeam
®
Workstation):
• Hochauflösendes
Feldemissions-Rasterelektro-
nenmikroskop
mit diversen Detektoren (Sekun-
därelektronen-, Rückstreuelektronen-, STEM-,
Sekundärionen-, InLens- und EBSD-Detektor)
•
Focussed Ion Beam
(Cobra-Orsay-Physics)
•
Gasinjektionssystem
für Bedampfung/Bearbei-
tung mit unterschiedlichen Substanzen (Graphit,
Platin, Jod, Wasserdampf) und Ladungskompen-
sation zur Analyse von nichtleitenden Proben
•
Energiedispersives Röntgenanalysesystem
(EDX)
•
Rasterelektronenmikroskop mit großer
Probenkammer
der Firma Zeiss Typ EVO MA 25
®
:
• Rasterelektronenmikroskop mit LaB
6
-Kathode und
Niederdruckmodus (u.a. gut geeignet für die Ana-
lyse von nichtleitenden und verunreinigten (z.B.
ölbehafteten Proben)
•
Große Probenkammer
für die Untersuchung von
Bauteilen und großen Proben
- Probengewicht mit voller
Kippmöglichkeit bis
2,5 kg,
Probenhöhe bis ~ 100 mm
- Probengewicht
ohne Kippen
>
5 bis ~ 10 kg
(bei
max. Höhe bis ~ 210 mm)
• Sekundär- und 5-Quadranten-
Rückstreuelektro-
nendetektor
• Energiedispersives
Röntgenanalysesystem
(EDX)
• 3D –
Oberflächentopographie-Software
der Firma
Alicona (MeX)
