Materialien für die Mikroelektronik
In der Abteilung "Materialien für die Mikroelektronik" ist die Forschungsleistungen des MCLs auf die speziellen Anforderungen der Mikroelektronikindustrie konzentriert. Dafür wurde eine breite Expertise in experimentellen und Simulationsmethoden aufgebaut, welche laufend weiterentwickelt und erweitert wird. Die Anwendungsfelder erstrecken sich auf (1) Materialien für 3D Integration und Packaging, (2) Materialien und Algorithmen für CMOS-kompatible Sensortechnologie, (3) simulationsbasiertes „Design for Reliability“ und „Condition Monitoring“ und (4) Methodenentwicklung für die Materialcharakterisierung und Zuverlässigkeitsanalyse.
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Florentyna Sosada-Ludwikowska (Details)