Mechanische Eigenschaften, wie beispielsweise Festigkeit, Duktilität und Bruchzähigkeit sind stark von den im Material befindlichen Eigenspannungen abhängig. Zum Einen gibt es am MCL die Möglichkeit, über XRD-Techniken die makroskopischen Eigenspannungen (1. Art) zu bestimmen. Zum Anderen können auch mikroskopische Eigenspannungen (2. und 3. Art) integral - also über größere Bereiche - mittels XRD evaluiert werden.

Um hingegen lokale mikroskopische Eigenspannungen (z.B. innerhalb eines speziellen Korns oder innerhalb nm-dicker Schichten) zu analysieren, werden am MCL die Biegebalkenmethode (Interlayer removal (ILR)) und die Slit-Methode angewandt. Bei der Biegebalkenmethode werden mit Hilfe der Durchbiegung des Balkens Eigenspannungen in den einzelnen Schichten von Multilayersystemen errechnet. Bei der Slit-Methode wird durch das Einbringen eines FIB-Schnittes und durch die daraus folgende Entspannung durch Bildkorrelation auf die Höhe von Druck- oder Zugspannungen in der Umgebung geschlossen.