Labor für Mikroelektronik

Die Kernkompetenz des Labors für Mikroelektronik liegt in der Charakterisierung von Mikroelektronikbauteilen und deren Materialien.

Die MitarbeiterInnen des Labors für Mikroelektronik sind die kompetenten Ansprechpersonen bei materialtechnischen Fragestellungen in elektronischen Komponenten und Systemen, bei zerstörungsfreier Werkstoffprüfung und miniaturisierten Systemen.

Unsere Schwerpunkte sind:

  • zerstörungsfreie Analysen
  • Prüfung von mechanischen Eigenschaften
  • Prüfung von thermischen Eigenschaften
  • Prüfung von chemischen Eigenschaften sowie
  • Probenpräparation für diese Prüfungen
  • Analyse von Phasen und Zusammensetzungen mittels Raman-Spektroskopie (auch temperaturabhängig von -196°C bis 600°C).

Unser Team

Laborleitung