Die Herstellung von funktionalen Schichten und Nanodrähten für die Gassensorik auf CMOS-Chips erfordert besondere Prozesse, um die maximale zulässige Temperatur von 400°C nicht zu überschreiten. Am MCL werden dafür spezielle ultradünne Schichten (Metalloxide) mit Spraypyrolyse aufgebracht und Transfermethoden für Nanodrähte und Nanopartikel wie Spin-Coating, Stempelverfahren und Ink-Jetten gemeinsam mit Partnern zur Produktionsreife geführt. Die Spraypyrolyse ist ein Verfahren, bei dem eine Precurserlösung auf temperierte Substrate (bis zu 400°C) aufgesprüht wird, wodurch extrem dünne Metalloxidfilme abgeschieden werden können.
Kontakt: Anton Köck